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如何做好硅片回收?
日期:2019-08-16  人氣:1198

 如何做好硅片回收?

  硅片回收是新能源回收利用由專業(yè)機(jī)構(gòu)專業(yè)回收廢或過(guò)期原生多晶硅,125太陽(yáng)能單晶電池片,156太陽(yáng)能多晶片(整片,碎片),拋光片,頭尾料,半導(dǎo)體硅片,及稀有金屬硅片回收工藝流程具體介紹如下:

  硅片回收切片:將單晶硅棒切成具有精確幾何尺寸的薄硅片。此過(guò)程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋,產(chǎn)生廢水和硅渣。

  硅片回收退火:雙工位熱氧化爐經(jīng)氮?dú)獯祾吆?,用紅外加熱至300~500℃,硅片表面和氧氣發(fā)生反應(yīng),使硅片表面形成二氧化硅保護(hù)層。

  硅片回收倒角:將退火的硅片進(jìn)行修整成圓弧形,防止硅片邊緣破裂及晶格缺陷產(chǎn)生,增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過(guò)程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋,產(chǎn)生廢水和硅渣。


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